程涵煦中途喝了一口水，接着继续说道。
“控制系统中的电子元件，如传感器、控制器、驱动器等，需要从专业的供应商处采购。这些元件的性能和质量直接影响光刻机的控制精度和稳定性，所以必须选择可靠的供应商，并对采购的元件进行严格的检测和筛选。”
“然后是系统装配与调试阶段。这是一个极为精细的过程，需要使用高精度的测量工具和精湛的装配技术。将制造好的各个部件进行组装时，在安装光学系统时，必须确保透镜和反射镜的位置和角度准确无误，以保证光的传输和聚焦效果达到最佳；在连接电路时，要保证线路的连接牢固、可靠，避免出现接触不良等问题。”
“完成装配后，进行初步调试，包括机械系统的运动调试、光学系统的光路调试、控制系统的功能调试等。通过初步调试，检查各个系统的工作是
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